光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x是目前三維形貌測(cè)量領(lǐng)域高精度的檢測(cè)儀器之一。在同等放大倍率下，測(cè)量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。在一些納米或者亞納米級(jí)別的超高精度加工領(lǐng)域，其它儀器達(dá)不到檢測(cè)的精度要求。中圖儀器SuperViewW1白光干涉儀器的重建算法自動(dòng)濾除樣品表面噪點(diǎn)，在硬件系統(tǒng)的配合下，分辨率可達(dá)0.1nm。
優(yōu)點(diǎn)
一是非接觸高精密測(cè)量，不會(huì)劃傷甚至破壞工件；
二是測(cè)量速度快，不必像探頭逐點(diǎn)進(jìn)行測(cè)量；
三是不必作探頭半徑補(bǔ)正，光點(diǎn)位置就是工件表面測(cè)量的位置；
四是對(duì)高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu)，可以快速而***的得到理想的測(cè)量結(jié)果。
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào)：SuperView W1系列
產(chǎn)品名稱：光學(xué)3D表面輪廓儀
影像系統(tǒng)：1024×1024
光學(xué)ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選）
干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）
XY平臺(tái)：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動(dòng)、手動(dòng)同時(shí)具備，均為光柵閉環(huán)反饋
Z軸行程：100mm，電動(dòng)
Z向掃描范圍：10mm
Z向分辨率：0.1nm
可測(cè)樣品反射率：0.05%-100
水平調(diào)整：±5°手動(dòng)
粗糙度RMS重復(fù)性：0.005nm
臺(tái)階高測(cè)量：準(zhǔn)確度0.3%，重復(fù)性0.08% 1σ
主要特點(diǎn)：非接觸式無(wú)損檢測(cè)，一鍵分析、測(cè)量速度快
生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司
注釋：更多詳細(xì)產(chǎn)品信息，請(qǐng)聯(lián)系我們獲取
SuperViewW1白光干涉儀器由照明光源系統(tǒng)，光學(xué)成像系統(tǒng)，垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構(gòu)成。雙通道氣浮隔振系統(tǒng)的設(shè)計(jì)，既可以接入客戶現(xiàn)場(chǎng)的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣，在無(wú)外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作，可以有效隔絕地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動(dòng)，同時(shí)內(nèi)部隔振系統(tǒng)能夠有效隔絕聲波振動(dòng)，確保儀器在車間也能正常工作。
SuperViewW1白光干涉儀器可以測(cè)到12mm，也可以測(cè)到更小的尺寸，XY載物臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)行程為140*110mm，局部位移精度可達(dá)亞微米級(jí)別，鏡頭的橫向分辨率數(shù)值可達(dá)0.4um，Z向掃描電機(jī)可掃描10mm范圍，縱向分辨率可達(dá)0.1nm級(jí)別，因此可測(cè)非常微小尺寸的器件。
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