白光表面干涉儀

SuperViewW1白光表面干涉儀以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量。廣泛應(yīng)用于如納米材料、航天、半導(dǎo)體等各類(lèi)精密工件表面質(zhì)量要求高的領(lǐng)域中，可以說(shuō)只有3d非接觸式光學(xué)輪廓儀才能達(dá)到微型范圍內(nèi)重點(diǎn)部位的納米級(jí)粗糙度、輪廓等參數(shù)的測(cè)量。

產(chǎn)品特點(diǎn)
參數(shù)測(cè)量：粗糙度、微觀輪廓尺寸、角度、面積、體積，一網(wǎng)打盡；
環(huán)境噪聲檢測(cè)：實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，納米波動(dòng)，也無(wú)可藏匿；
雙重防撞保護(hù)：軟件ZSTOP和Z向硬件傳感器，讓“以卵擊石”也能安然無(wú)恙；
自動(dòng)拼接：3軸光柵閉環(huán)反饋，讓3D拼接“天衣無(wú)縫”；
雙重振動(dòng)隔離：氣浮隔振，吸音隔振，任你“地動(dòng)山搖，我自巋然不動(dòng)”。

產(chǎn)品性能
縱向掃描：≤10.3mm，與選用物鏡相關(guān)
掃描幀速：50FPS/s
粗糙度重復(fù)性：0.005nm（依據(jù)ISO 25178-2012）
光學(xué)分辨率：0.4μm~3.7μm，與選用物鏡相關(guān)
至大點(diǎn)數(shù)：1048576（標(biāo)準(zhǔn)）
臺(tái)階測(cè)量：準(zhǔn)確度≤0.3%，重復(fù)性≤0.08%1σ

SuperViewW1白光表面干涉儀可測(cè)各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。