川崎機器人 NT420/NT520 雙手臂無塵機器人

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店鋪基本資料信息

產(chǎn)品詳細說明

NT系列機器人

用于半導(dǎo)體、有機EL、LCD面板、太陽能面板

NT系列無塵機器人設(shè)計的目的是讓一個機器人可以伸展開來管護多達四個FOUP而不必使用線性軸。NT系列采用下一代設(shè)計，以400晶片每小時（WPH）的速率來搬運300mm或450mm晶圓，而沒有使用校準器。

NT410 / NT510 單手臂
NT420 / NT520 雙手臂
NT620懸掛式安裝，雙手臂

卓越的伸展距離

單個的NT系列手臂可以伸展到四個FOUP。選配的線性軸可以增加FOUP*多到五個。

高吞吐量

標準NT機器人的吞吐量是用校準器280晶圓每小時（WPH）與不用校準器400WPH�？捎眠x配的抓手，增加吞吐量到700WPH。

SEMI F47合規(guī)

NT型號可以瞬時響應(yīng)電波動，如電壓下降，并且在電壓恢復(fù)時自動恢復(fù)運行。

SEMI S2合規(guī)

NT型號可以滿足對環(huán)境和人身安全的特殊考慮。

碰撞檢測

軟件和硬件組件都配備有碰撞檢測功能，以減少碰撞所造成精密、專用設(shè)備的損壞。

懸掛式安裝

NT620型號具有吊裝規(guī)格設(shè)計，用于在化學(xué)液體環(huán)境中使用，同時滿足ISO1級的要求。

NT系列寬廣的運動范圍使其能夠訪問主室，而不需要一個梭子或額外的機器人。

一個單個的NT系列機器人能夠不使用軌道而只用2到4個FOUP就訪問所有的EFEM。

型號		NT410	NT420	NT510	NT520	NT620
構(gòu)造		水平多關(guān)節(jié)型
自由度		4 軸	5 軸	4 軸	5 軸	5 軸
運動范圍	θ1 軸 (旋轉(zhuǎn)JT2)	340°	340°	340°	340°	340°
	Z 軸 (上下JT3)	400 mm	400 mm	470 mm	470 mm	600 mm
	θ2 軸 (旋轉(zhuǎn)JT4)	340°	340°	340°	340°	340°
	H1 軸 (旋轉(zhuǎn)JT6)	340° (380°) *2	340° (380°) *2	340° (380°) *2	340° (380°) *2	340° (380°) *2
	H2 軸 (旋轉(zhuǎn)JT7)	-	340°	-	380°	380°
*大伸展距離		1,230 mm	1,280 mm	1,230 mm	1,280 mm	1,250.7 mm
重復(fù)性		± 0.1 mm （晶圓中心）
*無塵度1**		ISO 1級
控制柜		D60/D61 (規(guī)格見無塵控制柜)