蝕刻液降溫冷卻系統(tǒng)
簡(jiǎn)介
刻蝕機(jī)是制作電路板、刻印微電子元器件的設(shè)備,通過(guò)化學(xué)或者物理的方法來(lái)蝕刻硅晶圓形成電子元器件圖案。機(jī)器在蝕刻過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生熱量,從而需要蝕刻液降溫冷卻系統(tǒng)進(jìn)行降溫?涛g機(jī)有多個(gè)工作模塊,因此需要多回路的循環(huán)水降溫。我公司為半導(dǎo)體行業(yè)研發(fā)的蝕刻液降溫冷卻系統(tǒng),助力于國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展,能為國(guó)內(nèi)的半導(dǎo)體芯片制造業(yè)獻(xiàn)出我們現(xiàn)有的技術(shù)和服務(wù),我們感到無(wú)上榮光。
產(chǎn)品特點(diǎn)
1.非標(biāo)可制定:恒溫—恒流—恒壓
2.標(biāo)準(zhǔn)型:智能控制水溫5~30℃±1,
3.非標(biāo)定制型:控制水溫 -50~85℃±0.3;控制水流1~1000L±0.03L;控制壓力0.1~10±0.04Mpa
4.控制器:PCL、觸摸屏,可連接上位機(jī),遠(yuǎn)程控制及手機(jī)APP控制。
5.機(jī)組俱備八大保護(hù)功能:電源相序保護(hù)裝置、漏電保護(hù)裝置、壓縮機(jī)過(guò)載保護(hù)裝置、電圈過(guò)熱保護(hù)裝置、高低壓保護(hù)裝置、缺水保護(hù)裝置、冷凍水流保護(hù)裝置、防凍保護(hù)裝置。
制冷原理
壓縮機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn),使低溫低壓的氣態(tài)制冷轉(zhuǎn)為高溫高壓的氣態(tài)制冷劑進(jìn)入冷凝器,冷凝內(nèi)的制冷部份熱量被外置冷卻水或散熱風(fēng)扇排出冷凝器,制冷劑放熱后液化為高溫高壓液態(tài)流出,經(jīng)過(guò)干燥過(guò)濾器干燥過(guò)濾后,流入膨脹閥節(jié)流、降壓,制冷劑液化為低溫低壓的液態(tài)進(jìn)入蒸發(fā)器進(jìn)行熱交換,低溫低壓的液態(tài)冷媒吸收蒸發(fā)器外周圍介質(zhì)(水、油)熱量,吸熱過(guò)程中冷媒溫度保持不變,體積發(fā)生變化,吸熱后的低溫壓的液壓制冷劑氣化為低溫低壓的氣態(tài)制冷劑進(jìn)入到壓縮機(jī),經(jīng)壓縮機(jī)壓縮,被壓縮成高溫高壓的氣態(tài),進(jìn)入冷凝器,從而實(shí)現(xiàn)制冷循環(huán)的整個(gè)過(guò)程。
制熱原理
在制冷原理的基礎(chǔ)上,壓縮機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn),使低溫低壓的氣態(tài)制冷轉(zhuǎn)為高溫高壓的氣態(tài)通過(guò)四通閥、儲(chǔ)液罐,制冷劑進(jìn)入冷凝器,冷凝內(nèi)的熱量被利用經(jīng)水水箱加熱,加熱的水可高達(dá)90度,制冷劑放熱后液化為高溫高壓液態(tài)流出,經(jīng)過(guò)干燥過(guò)濾器干燥過(guò)濾后,流入膨脹閥節(jié)流、降壓,制冷劑液化為低溫低壓的液態(tài)進(jìn)入蒸發(fā)器進(jìn)行熱交換,低溫低壓的液態(tài)冷媒吸收蒸發(fā)器外周圍介質(zhì)(水、油)熱量,吸熱過(guò)程中冷媒溫度保持不變,體積發(fā)生變化,吸熱后的低溫壓的液壓制冷劑氣化為低溫低壓的氣態(tài)制冷劑進(jìn)入到壓縮機(jī),經(jīng)壓縮機(jī)壓縮,被壓縮成高溫高壓的氣態(tài),進(jìn)入冷凝器,從而實(shí)現(xiàn)制熱循環(huán)的整個(gè)過(guò)程。
機(jī)組性能
蝕刻液降溫冷卻系統(tǒng)采用多個(gè)壓縮機(jī)并聯(lián)設(shè)計(jì),每組制冷系統(tǒng)自帶一個(gè)的制冷劑回路;制冷系統(tǒng)由PLC控制,逐個(gè)開、關(guān)機(jī),單機(jī)故障率極低,確保制冷系統(tǒng)有著穩(wěn)定的性能,長(zhǎng)年運(yùn)行情況下之選。
冷卻裝置控溫原理
1.蝕刻液降溫冷卻系統(tǒng)的冷卻水進(jìn)入水端流經(jīng)水路,使冷卻管內(nèi)達(dá)到充足的水流量,改善遠(yuǎn)程等離子發(fā)生器的冷卻效果,減少在內(nèi)表面上生成的氣態(tài)物質(zhì),有效降低凝結(jié)在晶圓表面的異常顆粒數(shù)量。
2.冷卻裝置的冷卻盤和冷卻板圍成一個(gè)冷卻腔,進(jìn)液口和排液口設(shè)置在冷卻腔的底壁,其中,在冷卻腔內(nèi)設(shè)計(jì)阻礙水流的方式,阻礙冷卻水直接從進(jìn)水口流向排水口,使冷卻液進(jìn)入儲(chǔ)水槽及其周圍區(qū)域流動(dòng),讓冷卻液盡量流經(jīng)冷卻腔的整個(gè)區(qū)域,而不是直接從進(jìn)液口流向排液口,可讓流入的冷卻液均勻地與冷卻板接觸,進(jìn)行熱交換,冷卻裝置可均勻地推動(dòng)冷卻液流動(dòng),使冷卻板得到充足的冷量。
3.冷卻結(jié)構(gòu)的離子束刻蝕機(jī)工作臺(tái),固定在離子束刻蝕機(jī)的真空腔內(nèi),傳動(dòng)座和基片臺(tái),在基片臺(tái)與傳動(dòng)座之間形成與通水軸串聯(lián)連通的冷卻水循環(huán)裝置,通水軸分別連通進(jìn)水管路和出水管路而與冷卻水道一起形成冷卻水回路,再與蝕刻液降溫冷卻系統(tǒng)的進(jìn)水管及出水管連接形成一個(gè)水循環(huán)冷卻系統(tǒng),使溫度控制在實(shí)用工況的溫度值,確保有效基片臺(tái)的冷卻效果,提高了離子束刻蝕的均勻性。
產(chǎn)品質(zhì)量
凡是購(gòu)買我公司設(shè)備的,在設(shè)備交付后如發(fā)現(xiàn)設(shè)備的其中一個(gè)零部件為二手偽劣產(chǎn)品的,我公司以假一賠十的方式對(duì)用戶進(jìn)行賠償。在設(shè)備交付后如發(fā)現(xiàn)設(shè)備是以小充大或以次充好,用戶無(wú)條件退、換貨,所有費(fèi)用我司承擔(dān)。
技術(shù)參數(shù)
型號(hào) |
制冷量 |
壓縮機(jī) |
蒸發(fā)器 |
冷凝器 |
水泵 |
外型尺寸 Shape dimension |
|||||
kcal/h |
kw |
kw |
hp |
L |
inch |
m3/h |
m3/h |
kw |
mpa |
cm |
|
JRW-05 A |
12470 |
14 |
3.75 |
5 |
70 |
1 |
3.0 |
5000 |
0.75 |
0.18 |
120×60×143 |
JRW-06A |
14964 |
17 |
4.5 |
6 |
90 |
1 |
3.6 |
6000 |
0.75 |
0.18 |
126×65×155 |
JRW-08A |
19552 |
23 |
6 |
8 |
140 |
2" |
4.8 |
8000 |
0.75 |
0.18 |
130×65×160 |
JRW-10A |
24940 |
29 |
7.5 |
10 |
160 |
2" |
6 |
10000 |
1.5 |
0.18 |
148×70×168 |
JRW-12A |
29928 |
34 |
9 |
12 |
170 |
2" |
7.2 |
12000 |
1.5 |
0.18 |
150×70×173 |
JRW-15 A |
37410 |
43 |
11 |
15 |
200 |
2" |
9 |
15000 |
1.5 |
0.18 |
160×75×190 |
JRW-20A |
49880 |
58 |
15 |
20 |
300 |
2" |
12 |
20000 |
2.2 |
0.18 |
170×90×210 |
JRW-25 A |
59856 |
69 |
18 |
25 |
300 |
2.5" |
15 |
25000 |
2.2 |
0.18 |
190×100×210 |
JRW-30A |
74820 |
87 |
22 |
30 |
450 |
2.5" |
18 |
30000 |
3 |
0.18 |
220×100×210 |
JRW-35 A |
87290 |
101 |
27 |
36 |
470 |
2.5" |
21 |
36000 |
3.0 |
0.18 |
200×150×180 |
JRW-40A |
99760 |
116 |
30 |
40 |
600 |
2.5" |
24 |
40000 |
3.7 |
0.18 |
220×140×220 |
JRW-45 A |
112230 |
130 |
33 |
45 |
650 |
3" |
27 |
45000 |
3.7 |
0.18 |
230×145×220 |
JRW-50A |
124700 |
145 |
37 |
50 |
700 |
3" |
30 |
50000 |
3.7 |
0.18 |
240×150×230 |
JRW-60A |
149640 |
174 |
45 |
60 |
800 |
3" |
36 |
60000 |
3.7 |
0.18 |
250×155×235 |
JRW-70A |
174580 |
203 |
52.5 |
70 |
900 |
4" |
42 |
70000 |
4 |
0.18 |
260×160×240 |
JRW-80A |
199520 |
232 |
60 |
80 |
1000 |
4" |
48 |
80000 |
4 |
0.18 |
270×170×245 |