SJ6000激光干涉儀角度測量和鏡組以及環(huán)境補償器，外形小巧美觀方便攜帶，一套完整的激光干涉儀和鏡組只需要裝在一個類似于行李箱的工具箱中，整體加起來的重量輕，再加上一個可以自由伸縮調(diào)整高度的三腳架（裝在無紡編織袋中），隨時隨地可用于機械測量。激光干涉儀與環(huán)境補償器都有端口和計算機USB接口相連，實時傳遞檢測數(shù)據(jù)，供計算機檢定軟件測算，檢定過程輕松易掌握，沒有復(fù)雜的程序設(shè)定。
性能特點
1.精度高
SJ6000激光干涉儀角度測量以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實現(xiàn)高精度、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補償模塊，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償；干涉鏡與主機分離設(shè)計，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。
2.功能廣
- 可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；
- 可檢測數(shù)控機床、三坐標(biāo)測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；
- 可實現(xiàn)龍門機床雙軸同步測量；
- 可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn)；
- 可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；
- 具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；
- 支持手動或自動進(jìn)行環(huán)境補償。
3.軟件強
- 友好的人機界面；
- 豐富的應(yīng)用功能模塊；
- 向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/li>
- 簡潔化的記錄管理；
- 支持中文、英文和俄文界面；
- 支持企業(yè)專屬模板定制。
SJ6000激光干涉儀角度測量是一個交流測試系統(tǒng)，當(dāng)激光光束強度受環(huán)境影響發(fā)生變化時，其頻率不會受光強變化影響發(fā)生變化，也不會因電平變化造成干涉信號的頻率改變。因此，它的抗擾力強，精度高，測量結(jié)果可靠，在高精度要求的芯片光刻機、計量檢測和前沿科研領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
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