安川機器人 SEMISTAR-VD95D 搬運潔凈室機器人

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店鋪基本資料信息

產(chǎn)品詳細(xì)說明

SEMISTAR-VD95D

適用于真空環(huán)境內(nèi)*大搬運尺寸達(dá)730*920mm雙腕玻璃基板搬運機器人！

雙腕玻璃基板搬運機器人

負(fù)載：95KG

動態(tài)范圍：2300mm

控制柜：DX100

用途：搬運、潔凈室

大動作范圍：*大搬運尺寸達(dá)730*920mm雙腕玻璃基板搬運機器人。

手臂采用連桿機構(gòu)實現(xiàn)高鋼性。

采用真空內(nèi)傳送帶驅(qū)動實現(xiàn)低放出氣體性能。

手臂可內(nèi)置基板傳感器用配線。

項目規(guī)格備注

名稱 SEMISTAR-VD95D

機型 XU-RVD1450D6-A10(配傳感電纜)

構(gòu)造水平多關(guān)節(jié)形(4個自由度)

動作范圍 L，R軸(伸縮) 2300mm

S軸(旋轉(zhuǎn)) -170°~+170°

U軸(升降) 150mm

動作時間*1

(速度運作時) L，R軸(伸縮) 3.2秒以下 2300mm伸縮距離

S軸(回轉(zhuǎn)) 3.8秒以下 340deg旋轉(zhuǎn)距離(但L，R=0)

U軸(升降) 2.5秒以下 150mm升降距離

重復(fù)定位精度*2 各軸±0.3mm 抓手安裝部分中心位置時

手臂抖動精度 ±0.3mm以下水平方向，抓手安裝部分中心位置時

負(fù)載 95KG/手臂含抓手重量

容許慣性力矩(CD2/4) *大118kg·m2 含抓手重量，抓手安裝部分中心位置時

耐真空度 1*10-6Pa

本體質(zhì)量 1500kg

適用控制柜式樣 ERDR-VD0095D-A00 三相AC200V，3.0kVA

*1：動作節(jié)拍不保證帶有基板時搬運速度。由于抓手的形狀及抓手的安裝部分的鋼性產(chǎn)生共振時，會影響動作節(jié)拍，請重新設(shè)定。

*2：依據(jù)JIS B8432標(biāo)準(zhǔn)的動作重復(fù)定位精度。但有無工件時負(fù)載變動以及使用速度的差異、溫度變化的影響不考慮在內(nèi)。

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