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晶圓定位傳感器 M-DW1
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品牌： 松下
單價(jià)： 面議
所在地： 上海
有效期至： 長(zhǎng)期有效
最后更新： 2017-07-27 20:54
瀏覽次數(shù)： 562
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 產(chǎn)品詳細(xì)說明
 晶圓定位傳感器 M-DW1

采用安全的LED光源的反射型晶圓定位傳感器

晶圓定位傳感器 M-DW1
UL Recognaized CE Marking

UL 、CE 已取得。
CE : EMC指令
UL : Recognition認(rèn)證

特點(diǎn)

安全性卓越的LED式

以往使用激光的激光式定位傳感器，激光會(huì)從加載口內(nèi)側(cè)穿過FOUP直射操作人員，十分危險(xiǎn)。
M-DW1成功使用LED光源。確保操作人員安全。
安全性卓越的LED式

亦可檢測(cè)玻璃晶圓

M-DW1以反射光的位置來檢測(cè)，不管反射光量的多少都能檢測(cè)出玻璃晶圓。
亦可檢測(cè)玻璃晶圓

可檢測(cè)涂氮晶圓

氮化膜具有可吸收特定波長(zhǎng)光的性質(zhì)，吸收的波長(zhǎng)因氮化膜的厚度而不同。因此，對(duì)于使用單波長(zhǎng)激光的傳感器，可能會(huì)因光全被吸收而無法檢測(cè)。
而LED光源的光具有一定波長(zhǎng)段，即使氮化膜晶圓也可準(zhǔn)確檢測(cè)。

0.5ms的高速反應(yīng)

實(shí)現(xiàn)0.5ms的高速反應(yīng)。兼顧高速反應(yīng)性和高精度。

基于2段受光元件的高精度位置檢測(cè)

利用反射光量檢測(cè)時(shí)，反射光量和晶圓的邊緣形狀會(huì)影響檢測(cè)結(jié)果。M-DW1的受光部使用2段受光元件，通過反射光位置而非反射光量進(jìn)行檢測(cè)。因此，受晶圓厚度和反射光量的影響較小。
基于2段受光元件的高精度位置檢測(cè)

可從四個(gè)方向引出電纜

傳感器可以從正前方、右側(cè)、左側(cè)、下方四個(gè)方向引出電纜�？筛鶕�(jù)傳感器的設(shè)置情況靈活調(diào)節(jié)。
可從四個(gè)方向引出電纜

內(nèi)置放大器的小巧、輕盈型

尺寸為寬度80.6mm×厚度18.3mm×進(jìn)深50mm，質(zhì)量約為75g的小巧、輕盈型。
內(nèi)置放大器的小巧、輕盈型