咨詢熱線：021-80392549
發(fā)布信息

GE RPS/DPS 8000傳感器
點(diǎn)擊圖片查看原圖
單價(jià)： 面議
所在地： 上海
有效期至： 長(zhǎng)期有效
最后更新： 2021-10-29 08:36
瀏覽次數(shù)： 494
詢價(jià)
店鋪基本資料信息
 
 產(chǎn)品詳細(xì)說(shuō)明

RPS/DPS 8000高精度諧振式壓力傳感器

RPS-8000-Sensor

利用新RPS/DPS 8000傳感器提高壓力測(cè)量精度

這種新RPS/DPS 8000諧振式硅壓力傳感器是**款融合了GE TERPS技術(shù)平臺(tái)的壓力傳感器。 與現(xiàn)有技術(shù)相比，TERPS（溝槽刻蝕諧振式壓力傳感器）可提供更高的性能等級(jí)，是具有*高的精度和穩(wěn)定性的傳感器。這種傳感器還可大幅提高諧振壓力技術(shù)（RPT）傳感器通常具有的壓力范圍，并且具有極為堅(jiān)固的包裝，適用于惡劣的環(huán)境。

此外， RPS/DPS 8000產(chǎn)品線提供了各種壓力和電氣接頭，這樣就可以靈活地進(jìn)行定制，廣泛用于從航空航天到海底工程以及過(guò)程工程到工業(yè)儀器等領(lǐng)域。

利用全新的TERPS技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)

• 高精度，±0.01% FS（在補(bǔ)償溫度范圍內(nèi)）

•高度穩(wěn)定，±100 ppm FS/年

• 壓力范圍從2 bar（30 psi）至 70 bar（1000 psi），絕對(duì)壓力

•溫度范圍大， -40 °C 至+85 °C（-40 °F至185 °F）

• 采用介質(zhì)隔離結(jié)構(gòu)，適用于惡劣環(huán)境

• 多輸出配置，TTL和二極管，RS-232和RS-485

•壓力和電氣接頭選擇范圍大，可滿足具體的要求

*高的精度和穩(wěn)定性

用硅改善性能：

Example_Si_machining__possible_with__DRIE
利用DRiE工藝進(jìn)行硅加工的示例
Wafer_in_DRIE_Process
DRiE工藝水
  • 我們?cè)谥圃霻ERPS諧振器元件時(shí)充分利用了硅的力學(xué)性能。
  • 為了優(yōu)化和平衡諧振器的設(shè)計(jì)，我們采用了深度反應(yīng)離子刻蝕（DRIE）硅技工技術(shù)。 DRIE可以設(shè)計(jì)具有復(fù)雜和多變幾何形狀的結(jié)構(gòu)。
  • 精度為0.01% FS（100 ppm）
  • 穩(wěn)定性為0.01% FS/年（100 ppm）

 













壓力和溫度范圍大

硅熔融黏結(jié)工藝：  

  • TERPS僅根據(jù)硅的力學(xué)性能進(jìn)行設(shè)計(jì)，可以用于 -40 至to 85 °C（-40至185 °F）的溫度范圍。
  • 這種設(shè)計(jì)還可以通過(guò)硅熔融黏結(jié)（SFB）工藝在諧振器上黏結(jié)不同厚度的硅，以便于用于高達(dá)70 bar（1000 psi）的壓力范圍。

 

Cross-section_of_TERPS_sensor_element

top_water
TERPS 傳感器元件橫截面 
 SFB硅層橫截面

 

堅(jiān)固和可靠的包裝

深度反應(yīng)離子刻蝕（DRIE）可以設(shè)計(jì)具有復(fù)雜和多變幾何形狀的結(jié)構(gòu)，并且可以使諧振器位于水平面上。 諧振器必須具有足夠的剛度，以將能量損失降至*低，并采用油浸絕緣結(jié)構(gòu)。

全焊TERPS模塊可以使頂級(jí)設(shè)計(jì)工程師利用標(biāo)準(zhǔn)材料包裝傳感器。 這種產(chǎn)品封裝在316L不銹鋼模塊中，起調(diào)節(jié)作用的電子設(shè)備位于25mm的主體管中。它提供一系列壓力和電氣接頭。

Image_1

 

 

特色