我國(guó)首臺(tái)硅電容傳感器問(wèn)世

　　傳感器是工業(yè)自動(dòng)化控制領(lǐng)域很重要的部件，目前，我國(guó)高性能傳感器基本依賴進(jìn)口，嚴(yán)重阻礙了相關(guān)變送器產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)，牽制和影響了民族產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。在國(guó)家“863”計(jì)劃、國(guó)家中小企業(yè)創(chuàng)新基金、科技部新產(chǎn)品專項(xiàng)基金的支持下，沈陽(yáng)儀表科學(xué)研究院研制成功硅電容、硅壓阻復(fù)合傳感器。該院是傳感器國(guó)家工程研究中心的依托單位，傳感器生產(chǎn)的工藝條件、設(shè)備條件在國(guó)內(nèi)處于領(lǐng)先地位�？蒲腥藛T通過(guò)技術(shù)攻關(guān)，突破了影響傳感器性能的多項(xiàng)工藝難點(diǎn)和關(guān)鍵技術(shù)，研制出的高性能硅電容差壓傳感器，具有自補(bǔ)償效應(yīng)，核心元件采用微機(jī)械加工技術(shù)，溫度范圍寬，精度高，穩(wěn)定性好，成功實(shí)現(xiàn)了新型高性能傳感器的自主開(kāi)發(fā)和智能變送器核心部件的自主配套。硅壓阻復(fù)合傳感器，是能同時(shí)感受兩種或兩種以上不同被測(cè)量參數(shù)并轉(zhuǎn)換成可用信號(hào)輸出的傳感器，滿足了工業(yè)智能儀表用傳感器的需求。這兩種產(chǎn)品的問(wèn)世并實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，提升了我國(guó)壓力傳感器、變送器的性能檔次，縮小了儀表行業(yè)與國(guó)外產(chǎn)品差距，填補(bǔ)了我國(guó)自主生產(chǎn)智能儀表的空白。 

　　據(jù)了解，沈陽(yáng)儀表科學(xué)研究院已經(jīng)在沈陽(yáng)高新區(qū)投資7000萬(wàn)元，建設(shè)產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)基地，明年下半年投入生產(chǎn)后，將形成傳感器及配套儀表產(chǎn)品批量生產(chǎn)能力。