咨詢熱線：021-80392549
發(fā)布信息

川崎NT系列機(jī)器人 用于半導(dǎo)體、有機(jī)EL、LCD面板、太陽能面板
點(diǎn)擊圖片查看原圖
品牌： 川崎
自由度： 4/5軸
臂展： 1230/1280mm
單價： 面議
所在地： 上海
有效期至： 長期有效
最后更新： 2022-08-18 11:14
瀏覽次數(shù)： 630
詢價
店鋪基本資料信息
 
 產(chǎn)品詳細(xì)說明
      NT系列無塵機(jī)器人設(shè)計的目的是讓一個機(jī)器人可以伸展開來管護(hù)多達(dá)四個FOUP而不必使用線性軸。NT系列采用下一代設(shè)計，以400晶片每小時（WPH）的速率來搬運(yùn)300mm或450mm晶圓，而沒有使用校準(zhǔn)器。
     

NT系列機(jī)器人:

NT410 / NT510 單手臂
NT420 / NT520 雙手臂
NT620懸掛式安裝，雙手臂

 

應(yīng)用:

  • 無塵室
  • 卓越的伸展距離
    單個的NT系列手臂可以伸展到四個FOUP。選配的線性軸可以增加FOUP*多到五個。
    高吞吐量
    標(biāo)準(zhǔn)NT機(jī)器人的吞吐量是用校準(zhǔn)器280晶圓每小時（WPH）與不用校準(zhǔn)器400WPH�？捎眠x配的抓手，增加吞吐量到700WPH。
    SEMI F47合規(guī)
    NT型號可以瞬時響應(yīng)電波動，如電壓下降，并且在電壓恢復(fù)時自動恢復(fù)運(yùn)行。
    SEMI S2合規(guī)
    NT型號可以滿足對環(huán)境和人身安全的特殊考慮。
    碰撞檢測
    軟件和硬件組件都配備有碰撞檢測功能，以減少碰撞所造成精密、專用設(shè)備的損壞。
    懸掛式安裝
    NT620型號具有吊裝規(guī)格設(shè)計，用于在化學(xué)液體環(huán)境中使用，同時滿足ISO1級的要求。
  •  
  •