LED型晶圓校準(zhǔn)傳感器 HD-T1
使用安全的LED光確保分辨率30μm下的高精度檢測
特點(diǎn)
無需任何安全措施
使用安全的紅色LED作為光源，無需任何繁雜的安全措施。無需使用激光時(shí)必備的保護(hù)罩，在美國使用時(shí)不需要符合FDA標(biāo)準(zhǔn)。
施工簡便
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使用ONE SHOT連接器將檢測頭與控制器連接。配線工時(shí)降至*低限度，維護(hù)輕松。
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低消耗電流70mA以下
檢測頭和控制器的總消耗電流為70mA以下。實(shí)現(xiàn)光電傳感器同等的低功耗。
高分辨率30μm
雖然使用紅色LED作為光源，但仍然具有激光傳感器同樣的高性能，因此可實(shí)現(xiàn)高精度檢測。
無需光軸調(diào)整
投、受光部一體型，無需繁瑣的光軸調(diào)整。并且，檢測距離及檢測寬度可以覆蓋30mm的廣闊區(qū)域，可對(duì)應(yīng)各種不同尺寸的晶圓。
配備系數(shù)和偏移量調(diào)整功能
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模擬輸出(1～5V)除了系數(shù)調(diào)整功能之外，還具備方便的偏移調(diào)整功能，可在±0.5V的范圍內(nèi)轉(zhuǎn)換模擬電壓。
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種類
檢測頭
| 形狀 |
檢測距離 |
檢測寬度 |
型號(hào) |
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30mm(固定)
(注1) |
30mm |
HD-T1030 |
| (注1)： |
出廠時(shí)固定于安裝基座狀態(tài)下的值。 |
控制器
檢測頭與控制器必須配套使用。
| 形狀 |
型號(hào) |
輸出 |
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HD-T1C |
模擬電壓
輸出電壓：1～5V |
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