NX系列無塵機器人被設計為與兩個或三個300mm的FOUP配合使用，而不需要使用軌道。NX系列在設計上與NS系列類似，但是附加的獨立軸更換了RTZ動作設計，顯著增加了NX的運動范圍。
NX系列機器人:
NX510 2鏈接，單手臂
NX520 2鏈接，雙手臂
NX5403鏈接，單手臂
無塵機器人外設:
卓越的伸展距離單個的NX系列手臂可以達到2或3個FOUP而不需要線性軸。該手臂被設計為高剛性，以及可以利用窄間距訪問晶圓臺以及FOUP中的任意位置。高吞吐量NX系列實現了利用雙臂機械手，如NX520，從FOUP到校準器然后到平臺200晶圓每小時（WPH）的吞吐量。SEMI F47合規(guī)NX型號可以瞬時響應電波動，如電壓下降，并且在電壓恢復時自動恢復運行。SEMI S2合規(guī)NX型號可以滿足對環(huán)境和人身安全的特殊考慮。碰撞檢測軟件和硬件組件都配備有碰撞檢測功能，以減少碰撞所造成精密、專用設備的損壞。
NX系列機器人規(guī)格
| 型號 |
NX510 |
NX520 |
NX540 |
| 構造 |
水平多關節(jié)型 |
| 自由度 |
4 軸 |
5 軸 |
4 軸 |
| 鏈接 |
2 |
2 |
3 |
| 運動范圍 |
θ 軸
(旋轉JT2) |
330° |
330° |
318° |
| 440 mm |
440 mm |
440 mm |
Z 軸
(上下JT3) |
832 mm |
832 mm |
1,232 mm |
| 336° |
336° |
336° |
X 軸
(前后JT4) |
- |
336° |
- |
W 軸 - 下
(旋轉JT6) |
W 軸 - 上
(旋轉JT7) |
| 重復性 |
± 0.1 mm （晶圓中心） |
±0.25 mm |
| 無塵度*1 |
ISO 1級 |
| 控制柜 |
D60/D61 (規(guī)格見無塵控制柜) |
*1: 于川崎的無塵間內測得
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