CR系列潔凈室用半導(dǎo)體硅片/LCD基板水平搬運機械手

CR系列泛半導(dǎo)體設(shè)備用機械手是韓國Cyborg Lab公司設(shè)計生產(chǎn)的產(chǎn)品，主要用于潔凈室內(nèi)大氣環(huán)境下半導(dǎo)體硅片或LCD玻璃基板的水平搬運。韓國Cyborg Lab公司擁有15年以上的半導(dǎo)體用機械手產(chǎn)品設(shè)計與生產(chǎn)經(jīng)驗，產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定，性能可靠。CR系列硅片搬運機械手的主要特點如下：

 • 靈活可配置的模塊化設(shè)計

 • 重復(fù)定位精度優(yōu)于0.05mm

 • 機身設(shè)計緊湊，占地面積小，滿足凈化室設(shè)備的使用要求

 • 潔凈度要求可達Class One

 • 可根據(jù)客戶要求進行定制設(shè)計

CR系列產(chǎn)品主要用于半導(dǎo)體硅片搬運、液晶面板搬運、LED硅片搬運、MEMS硅片搬運等領(lǐng)域，目前沈陽芯源、北京七星、上海新陽等客戶已經(jīng)選用。