愛(ài)思強(qiáng)推出全球最高效的MOCVD反應(yīng)器CRIUS® II-XL

　　繼成功推出CRIUS® II-L后，愛(ài)思強(qiáng)11月8日宣布MOCVD反應(yīng)器的產(chǎn)能再上一層樓。19x4英寸規(guī)格的新型CRIUS® II-XL反應(yīng)器產(chǎn)能超卓，產(chǎn)量及產(chǎn)能均問(wèn)鼎世界之最。此外，CRIUS II-XL具備了同級(jí)設(shè)備中最優(yōu)化的運(yùn)作成本和占地效益。

　　CRIUS® II-XL主要采用CRIUS® II-L的硬件配置。“需要更換的組件只有一項(xiàng)，就是襯托器底板。更換該部分以后，反應(yīng)器的產(chǎn)能將大大提高，而且基本上無(wú)需額外成本”愛(ài)思強(qiáng)Close Coupled Showerhead® （CCS）近耦合技術(shù)噴淋頭反應(yīng)器技術(shù)的項(xiàng)目經(jīng)理Johannes Lindner博士表示，“這是讓CRIUS® II-L盡可能順利升級(jí)成CRIUS® II-XL的其中一個(gè)關(guān)鍵設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)。除此之外，只需作出極少的工藝調(diào)整就能升級(jí)至CRIUS® II-XL。”

　　此款CRIUS®反應(yīng)器系列的最新機(jī)型同樣是根據(jù)市場(chǎng)需求（尤其是針對(duì)發(fā)光二極管制造成本）進(jìn)行詳盡分析后研發(fā)而成。“市場(chǎng)對(duì)高成本效益的發(fā)光二極管制造需求強(qiáng)烈，而我們深知MOCVD對(duì)降低成本意義重大，”愛(ài)思強(qiáng)營(yíng)銷副總裁Rainer Beccard博士表示，“眾多參數(shù)當(dāng)中，反應(yīng)器的產(chǎn)能對(duì)總體擁有成本的影響最大。因此，我們決定設(shè)計(jì)出19x4英寸規(guī)格的反應(yīng)器。這一反應(yīng)器已由愛(ài)思強(qiáng)應(yīng)用實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行全面檢測(cè)，確保除了出眾的產(chǎn)能以外，其一致性及良率也無(wú)可挑剔�？梢赃x擇使用2英寸到8英寸之間任何尺寸的晶圓，硬件上只需簡(jiǎn)單的更換石墨盤，不需要其它硬件或工藝上的調(diào)整。”

　　CRIUS®II-XL是愛(ài)思強(qiáng)CCS產(chǎn)品系列的最新出品，實(shí)驗(yàn)證明，該產(chǎn)品可在長(zhǎng)達(dá)數(shù)年的時(shí)間內(nèi)提供最佳的生產(chǎn)穩(wěn)定性并保持良好運(yùn)作。MOCVD系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)功能包括反應(yīng)器在位的高度調(diào)整，以便在任何工藝環(huán)境下都可以選擇最優(yōu)化的反應(yīng)器結(jié)構(gòu)，該系統(tǒng)還配備獨(dú)特的ARGUS在位監(jiān)測(cè)設(shè)備。