激光位移傳感器在精密測(cè)厚中的應(yīng)用

　　激光三角漫反射位移傳感器用于測(cè)厚有明顯優(yōu)點(diǎn)：

　�。�非常小的測(cè)量光斑，是點(diǎn)光面積，如真尚有公司ZLDS10X系列光斑面積約1mm，它比面積型非接觸電容、電渦流傳感器，對(duì)被測(cè)體面積幾乎無要求，適合測(cè)量非常小面積尺寸厚度；

　　－較遠(yuǎn)的測(cè)量范圍起始間距。它比非接觸電容、電渦流傳感器起始間距大很多，如真尚有公司ZLDS100激光位移傳感器測(cè)量量程100mm，測(cè)量間距可以達(dá)到1000mm。這樣傳感器可以遠(yuǎn)離被測(cè)體，免受碰壞，及被測(cè)體熱輻射影響；

　　－有很大的測(cè)量范圍，如真尚有公司ZLDS101激光位移傳感器量程達(dá)2000mm，這是其它傳感器很難做到的；

　　－與被測(cè)體材料無關(guān)，即金屬非金屬體，非透明有漫反射條件表面都能測(cè)。

　　和其它傳感器測(cè)厚一樣，要實(shí)現(xiàn)精密測(cè)厚需要注意以下條件，否則再好的傳感器也測(cè)不準(zhǔn)：

　　1、用單激光位移傳感器測(cè)厚
　　
　　被測(cè)體放在測(cè)量平臺(tái)上，測(cè)量出傳感器到平臺(tái)表面距離，然后再測(cè)出傳感器到被測(cè)體表面間距，經(jīng)計(jì)算后測(cè)出厚度。要求被測(cè)體與測(cè)量平臺(tái)之間無氣隙，被測(cè)體無翹起。這些嚴(yán)格要求只有在離線情況實(shí)現(xiàn)。

　　2、 雙激光傳感器測(cè)厚

　　在被測(cè)體上方和下方各安裝一個(gè)激光位移傳感器，被測(cè)體厚度D=C-（A+B）。其中，C是兩個(gè)傳感器之間距離，A是上面?zhèn)鞲衅鞯奖粶y(cè)體之間距離，B是下面?zhèn)鞲衅鞯奖粶y(cè)體之間距離。圖中：SMR是指?jìng)鞲衅髁砍唐鹗奸g距，MR是指?jìng)鞲衅髁砍獭?/FONT>

　　在線厚度測(cè)量用這種方法優(yōu)點(diǎn)是可消除被測(cè)體振動(dòng)對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。但同時(shí)對(duì)傳感器安裝和性能有要求。

[$page]　　保證測(cè)量準(zhǔn)確性的條件是：兩個(gè)傳感器發(fā)射光束必須同軸，以及兩個(gè)傳感器掃描必須同步（見本文附圖）。同軸是靠安裝實(shí)現(xiàn)，而同步要靠選擇有同步端激光傳感器。如真尚有ZLDS10X系列激光位移傳感器都有同步端。

　　同步工作示意圖：

　　不同步將代來很大誤差：如果被測(cè)體存在振動(dòng)頻率20HZ，振幅1mm，如果信號(hào)不同步延遲1ms，那么就會(huì)帶來125μm誤差。

　　安裝兩個(gè)激光同軸示意圖：

　　安裝使兩個(gè)激光同軸，不但確保被測(cè)體同一位置上的厚度，同時(shí)降低了被測(cè)體傾斜帶來的誤差。以被測(cè)體運(yùn)動(dòng)方向不同軸為例，當(dāng)不同軸1mm，被測(cè)體傾斜2°可帶來35μm誤差。