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目前數(shù)控機(jī)床生產(chǎn)廠家多用激光干涉儀檢測(cè)機(jī)床坐標(biāo)定位系統(tǒng)精度，很少有人懷疑激光干涉儀的準(zhǔn)確性。的確，使用經(jīng)全面校準(zhǔn)（分別在標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境和非標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境下校準(zhǔn)）的雙頻激光干涉儀，在嚴(yán)格規(guī)定的標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境和熟練操作人員使用等條件下，檢測(cè)數(shù)控機(jī)床的坐標(biāo)定位精度是可以達(dá)到國(guó)家有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的準(zhǔn)確度要求。但很多生產(chǎn)廠家的現(xiàn)場(chǎng)條件屬非標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境，達(dá)不到上述標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境條件要求，其操作人員的熟練程度和應(yīng)對(duì)條件變化的處置能力也有差距，其檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性就值得懷疑了。有些使用者用同一臺(tái)激光干涉儀檢測(cè)同一臺(tái)數(shù)控機(jī)床，上午檢測(cè)和下午檢測(cè)的結(jié)果竟相差10μm以上，不知該如何處理。有些計(jì)量部門曾用激光干涉儀對(duì)測(cè)長(zhǎng)機(jī)、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)和數(shù)控機(jī)床的坐標(biāo)精度進(jìn)行檢定/校準(zhǔn)時(shí)，也發(fā)現(xiàn)其測(cè)量結(jié)果與采用實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)器（如二等標(biāo)準(zhǔn)線紋尺、二等量塊、精密步距規(guī)等）進(jìn)行校準(zhǔn)時(shí)的測(cè)量結(jié)果有很大差別，數(shù)值相差甚至大到10～20μm/1000mm。
原因可能是多方面的，既有環(huán)境影響因素，如溫度變化梯度較大，也有人的操作方式不當(dāng)?shù)扔绊懸蛩�，甚至還可能有儀器本身的溫度傳感器不夠穩(wěn)定或帖附位置不恰當(dāng)?shù)纫蛩赜绊�。所以在激光干涉儀使用中，有必要先用步距規(guī)進(jìn)行校對(duì)。校對(duì)方法很簡(jiǎn)單：把步距規(guī)當(dāng)做被檢測(cè)對(duì)象，用激光干涉進(jìn)行檢測(cè)，如果測(cè)量結(jié)果與步距規(guī)實(shí)際值一致，說明激光干涉儀在本環(huán)境條件和使用方式下可準(zhǔn)確使用。如果測(cè)量結(jié)果與步距規(guī)實(shí)際值相差較大，需對(duì)激光干涉儀進(jìn)行誤差修正，然后再用修正過的激光干涉儀再次測(cè)量步距規(guī)，直至測(cè)量結(jié)果與步距規(guī)實(shí)際值一致或誤差小到可以忽略。誤差修正的方法值得探討，可采用適當(dāng)修改初始溫度設(shè)定值或修改被測(cè)對(duì)象線膨脹系數(shù)設(shè)定值等方法，總之，誤差修正的目的是使再次校對(duì)時(shí)，使激光干涉儀的顯示值等于或接近等于步距規(guī)的實(shí)際值。如此，可排除一些意想不到的影響激光干涉儀正確使用的因素，從而顯著提高激光干涉儀在現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境下測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確度（即減小測(cè)量結(jié)果的不確定度）。
中國(guó)測(cè)試技術(shù)研究院專門從事量塊、步距規(guī)和激光干涉儀校準(zhǔn)的專家黃曉蓉先生曾說過，現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境下激光干涉儀不宜單獨(dú)使用，應(yīng)與經(jīng)校準(zhǔn)過的步距規(guī)比對(duì)使用，檢測(cè)結(jié)果會(huì)比較準(zhǔn)確。
在使用校準(zhǔn)過的步距規(guī)與激光干涉儀進(jìn)行比對(duì)時(shí)，需另外配備分辨力為0.001mm、示值重復(fù)性0.2μm以下的杠桿千分表（步距規(guī)生產(chǎn)廠家可配套供應(yīng)）。校對(duì)用步距規(guī)宜選用安一公司專*生產(chǎn)的防護(hù)型步距規(guī)，該型步距規(guī)可消除使用中因意外碰撞而喪失精度的重大缺陷。為便于外出人員攜帶，可選用中小規(guī)格（500mm以下）防護(hù)型步距規(guī)即可。校對(duì)用步距規(guī)總價(jià)約為激光干涉儀的十分之一，俗話說“買得起馬，配得起鞍”，花小錢，辦大事。
[$page] 數(shù)控機(jī)床的有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)雖未將步距規(guī)列為推薦檢測(cè)量具，但因現(xiàn)在的機(jī)床國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)已與國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)接軌，均為推薦標(biāo)準(zhǔn)，并不屬于強(qiáng)制執(zhí)行的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，實(shí)際上并不禁止使用其他的檢測(cè)手段如步距規(guī)、量塊等傳統(tǒng)檢測(cè)量具，關(guān)鍵是保證測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性。
步距規(guī)屬于國(guó)際公認(rèn)的實(shí)物長(zhǎng)度標(biāo)準(zhǔn)器，是三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)和國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)極力推薦的檢測(cè)量具，其準(zhǔn)確性、實(shí)用性和經(jīng)濟(jì)性得到國(guó)際公認(rèn)。因此，也有不少企業(yè)專門使用步距規(guī)檢測(cè)數(shù)控機(jī)床定位精度，如上海特略精密數(shù)控機(jī)床有限公司，專用安一公司生產(chǎn)的高精度步距規(guī)檢測(cè)本公司生產(chǎn)的精密數(shù)控機(jī)床，其機(jī)床定位精度高達(dá)±3μm，遠(yuǎn)高于同行的數(shù)控機(jī)床精度水平，實(shí)現(xiàn)了數(shù)控機(jī)床高檔、高價(jià)、高銷量，成為同行業(yè)的佼佼者，是成功應(yīng)用步距規(guī)檢測(cè)高檔數(shù)控機(jī)床的典型案例。
過去很長(zhǎng)時(shí)期內(nèi)，國(guó)內(nèi)不能生產(chǎn)高精度步距規(guī)，一直依賴進(jìn)口�，F(xiàn)在，桂林安一量具有限公司已能生產(chǎn)具有世界級(jí)水平的高精度步距規(guī)。曾有三臺(tái)規(guī)格1000mm的高精度步距規(guī)，先后經(jīng)中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院和德國(guó)DKD-K-44301 校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室校準(zhǔn)，三臺(tái)步距規(guī)實(shí)測(cè)全程最大誤差均不超過±1.0μm，分別為+0.8μm、-0.6μm（中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院校準(zhǔn)）和+0.46μm（德國(guó)DKD-K-44301校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室），與日本產(chǎn)同規(guī)格高精度步距規(guī)極限誤差±2.5μm相比，國(guó)產(chǎn)步距規(guī)技術(shù)指標(biāo)毫無遜色。
步距規(guī)作為實(shí)物長(zhǎng)度標(biāo)準(zhǔn)器，可用于檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、影像測(cè)量?jī)x和測(cè)高儀等精密儀器，更適于現(xiàn)場(chǎng)校對(duì)激光干涉儀，提高后者的測(cè)量準(zhǔn)確性。
數(shù)控機(jī)床的驗(yàn)收檢測(cè)、復(fù)檢檢測(cè)和定期維修檢測(cè)，與坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的驗(yàn)收檢測(cè)、復(fù)檢檢測(cè)的內(nèi)容有許多相似之處。法定計(jì)量文件JJF 1064-2004《坐標(biāo)測(cè)量機(jī)校準(zhǔn)規(guī)范》和國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB/T 16857.2-2006 《坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的驗(yàn)收檢測(cè)和復(fù)檢檢測(cè)》和最新版國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO 10360-2:2009《坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的驗(yàn)收檢測(cè)和復(fù)檢檢測(cè)》，都強(qiáng)烈推薦步距規(guī)作為實(shí)物長(zhǎng)度標(biāo)準(zhǔn)器，用于檢測(cè)坐標(biāo)測(cè)量機(jī)。規(guī)格500mm步距規(guī)經(jīng)中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院校準(zhǔn)，其測(cè)量結(jié)果的不確定度U=0.45μm，完全有資格作為激光干涉儀比對(duì)用的實(shí)物長(zhǎng)度標(biāo)準(zhǔn)器，是激光干涉儀的好幫手。
