微機械差壓傳感器

主要內(nèi)容： 該項目采用微機械技術(shù)開發(fā)差壓傳感器。需要提供以下技術(shù)內(nèi)容：與傳感器配套的調(diào)理電路微機械加工工藝技術(shù)微機械設(shè)計方案主要技術(shù)經(jīng)濟指標 精度達到±0.01% 。 工作溫度：－40°C － ＋85°C 穩(wěn)定性：年漂移量小于0.02% 過壓保護：3倍過壓能力 測量范圍為：10Kpa-10Mpa 輸出信號為電信號